Disertační práce

Optical characterisation of non-uniform thin films

Mgr. David Nečas
Anotace

Studuje se vliv plošné neuniformity tenkých vrstev na jejich optickou charakterizaci se zaměřením na neuniformitu v tloušťce. Jsou navrženy vhodné modely a parameterizace pro zahrnutí tohoto defektu do výpočtu optických veličin. Jejich použitelnost je ověřena jak numerickými studiemi, tak charakterizací skutečných vzorků neuniformích tenkých vrstev.

Abstract

Influence of area non-uniformity of thin films on their optical characterisation is studied, with focus on thickness non-uniformity. Suitable models and parametrisations are proposed for incorporation of this defect into the calculation of optical quantities. Their applicability is verified both using numeric studies and by characterisation of real samples of non-uniform thin films.

Klíčová slova
ellipsometry spectrophotometry thin films optical characterisation non-uniformity elipsometrie spektrofotometrie tenké vrstvy optická charakterizace neuniformita
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
18. 2. 2013 12:48, prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc., učo 2397
Plný text práce
5,6 MB / soubor PDF
Jazyk práce
angličtina angličtina
Termín obhajoby
27. 6. 2013
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc., učo 2397
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponenti

doc. Dr. Mgr. Kamil Postava
VŠB-Technická univerzita Ostrava
prof. RNDr. Jan Peřina, DrSc.
Přírodovědecká fakulta UP, Olomouc
Autor posudku dosud neidentifikován.
Autor posudku dosud neidentifikován.
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika (čtyřleté)
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.