Diplomová práce

Příprava tranzistorů na křemíku s uhlíkovými nanotrubkami

Preparation of transistors on silicon wafers with carbon nanotubes

Bc. Jiří Havelka
Anotace

Předložená práce se zabývá přípravou a charakterizací polovodivých součástek a tranzistorů na křemíkových deskách s využitím uhlíkových nanotrubek. Na deskách byly vyrobeny vodivé struktury, připravené procedurami metalizace a fotolitografie v čistých prostorech. Následně byly na vzorky deponovány nanotrubky a to různými metodami. Na hotových součástkách byla provedena elektrická měření. Z V-A charakteristik …více

Abstract

In the presented work, we deal with preparation and characterization of semiconducting devices and transistors on silicon wafers using carbon nanotubes. First part of the work introduces elementary findings about producing semiconducting devices and their preparation. Especially we study the properties and the preparation of semiconducting devices using metallization and photolithography, and also …více

Klíčová slova
polovodičová součástka tranzistor uhlíkové nanotrubice V-A charakteristika fotolitografie semiconducting device transistor carbon nanotube I-V characteristics photolithography
Zadání práce
Cílem diplomové práce je připravit tranzistory na křemíkové desce za použití kovových kontaktů a uhlíkových nanotrubek. Tvar a uspořádání kontaktů bude navrženo pro fotolitografii s laterálním rozlišením struktur od 5 mikrometrů, depozice nanotrubek různých vlastností bude provedena rotačním nanášením nebo depozicí v plazmatu. Příprava struktur bude prováděna v čistých prostorách pro mikroelektroniku na ÚFKL. Vlastnosti vyrobených tranzistorů budou testovány měřením elektrických charakteristik.
Student se během diplomové práce seznámí s fyzikou a technologií přípravy a simulace polovodičových struktur, uhlíkových nanotrubek a s problematikou příslušných měření.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
3. 4. 2013 08:34, doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D., učo 855
Plný text práce
18,3 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
18. 6. 2013
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D., učo 855
ÚFKL Fyz PřF MU

Oponent

Autor posudku dosud neidentifikován.

Konzultant

prof. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D., učo 1414
ÚFKL Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.