Bakalářská práce

Určení toků atomů a iontů na substrát v průběhu magnetronového naprašování

Determination of the atom and ion fluxes on the substrate during magnetron sputtering

Samuel Kurucz
Anotace

V této bakalářské práci se zaměřujeme na stanovení toků iontů a atomů při magnetronovém naprašování jak pulzy vysokého výkonu (HIPIMS), tak i stejnosměrným proudem (DCMS). U těchto dvou typů naprašování porovnáváme depoziční rychlost a tok iontů při různých parametrech výboje. Byly změřeny závislosti toků iontů a atomů na výkonu, tlaku a délce pulzu. V této práci jsou zároveň popsány základní principy magnetronového naprašování, metody měření a vyhodnocování dat.

Abstract

This thesis addresses the determination of ion and energy fluxes during high-power impulse magnetron sputtering (HIPIMS) as well as direct current magnetron sputtering (DCMS). We compare the deposition rates and ion fluxes of these two types of sputtering for different discharge parameters. The dependencies for discharge power, pressure, and pulse length were measured. The basic principles of magnetron sputtering are described, as well as the method of measurement and evaluation.

Klíčová slova
PVD magnetron depoziční rychlost tok ióntů tok atomů naprašování HIPIMS quartz crystal microbalance deposition rate ion flux energy flux sputtering
Zadání práce
Tok energetických iónov je jeden z kľúčových parametrov ovplyvňujúcich vlastnosti deponovanej tenkej vrstvy. Cieľom práce je určiť atómový a iónový tok dopadajúci na substrát počas depozičného procesu pri použití magnetrónového naprašovania. K tomuto účelu študent použije systém pre meranie toku neutrálnych a ionizovaných depozičných častíc dopadajúcich na substrát (QCM) ako aj sondu určenú k meraniu celkového toku iónov. Študent bude vyhodnocovať zmeny nameraných tokov pri systematickej zmene experimentálnych parametrov.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
8. 6. 2020 10:32, Mgr. Peter Klein, Ph.D., učo 269740
Plný text práce
11,5 MB / soubor PDF
Jazyk práce
angličtina angličtina
Termín obhajoby
25. 6. 2020
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

Mgr. Peter Klein, Ph.D., učo 269740
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

prof. Mgr. Pavel Souček, Ph.D., učo 175085
ÚFTP Fyz PřF MU

Konzultanti

doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D., učo 106259
ÚFTP Fyz PřF MU
prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
ÚFTP Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.