Závěrečná práce: Bc. Radoslav Brunovský: Kinetic effects in high-power magnetron sputtering
Diplomová práce
Kinetic effects in high-power magnetron sputtering
Anotace
V této diplomové práci studujeme transport neutrálních rozprášených částic přes neutralní plynové pozadí které nastáva počas jednosměrného magnetronového naprašování. Na studium transportu využijeme metody Direct Simulation Monte Carlo. Pomocí porovnání výsledků simulací s experimenty stanovíme výtěžnost z rozprašování pro různé materiály terče. Tyto simulace jsou prováděny v 3D modelu cylindrického …více
Abstract
In this thesis we study transport of neutral sputtered particles through gas background during DC magnetron sputtering. To study this we use Direct Simulation Monte Carlo method. Using comparison of results of DSMC software with experiments we determine sputter yields of various target materials. These simulations are done in 3D cylindrical magnetron model. We also study the rarefaction of neutral …více
Zadání práce
19. 5. 2023 10:04, Mgr. Adam Obrusník, Ph.D., učo 356468
Konzultanti
abs PřF MU
abs PřF MU
Práce na příbuzné téma
Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.
-
Simulace transportu par kovu v magnetronovém naprašování metodou Direct simulation Monte Carlo
Mgr. Radoslav Brunovský -
Development and study of hybrid PVD-PECVD process
Mgr. Tereza Schmidtová, Ph.D., učo 151253 -
Mechanické vlastnosti tenkých vrstev připravených metodou reaktivního magnetronového naprašování
Mgr. Lukáš Zábranský, Ph.D. -
Depozice a charakterizace nanolaminátních tenkých vrstev tvořených kovem, uhlíkem a bórem
Mgr. Pavol Matej -
Vývoj a studium pokročilých multivrstev a nanokompozitů připravených s použitím magnetronového naprašování a PECVD
Mgr. Richard Václavik -
Simulační metody jako nástroj rozhodování - modelování pomocí programu Witness
Ing. Marek Prokůpek -
Rozbor výukového software pro fyziku
Mgr. Jiří Haut, učo 151139 -
Jádrové odhady podmíněné hustoty
Mgr. Kateřina Pokorová, Ph.D., učo 270073




