Závěrečná práce: Jan Zbožínek: Charakterizace tenkých vrstev oxynitridů přechodových kovů s hliníkem
Bakalářská práce
Charakterizace tenkých vrstev oxynitridů přechodových kovů s hliníkem
Characterization of transition metal aluminium oxynitride thin films
Anotace
Při vývoji ochranných povlaků jsou důležité hlavně jejich mechanické vlastnosti a teplotní stabilita. V této bakalářské práci se věnujeme studiu teplotní stability krystalové struktury a chemického složení vrstev TiAlON připravených metodou magnetronového naprašování buzeného pulzy vysokého výkonu v závislosti na průtoku kyslíku a předpětí. Limit teplotní stability vrstev je definovaný detekcí sekundární …více
Abstract
In the development of protective coatings, their mechanical properties and thermal stability are particularly important. In this thesis, we focus on the study of the thermal stability of the crystal structure and chemical composition of TiAlON layers prepared by high-power impulse magnetron sputtering as a function of oxygen flow rate and bias voltage. The temperature stability limit of the layers …více
Klíčová slova
tenké vrstvy TiAlON magnetronové naprašování HiPIMS SEM EDX XRD thin films magnetron sputteringZadání práce
http://pvdlab.cz/.
13. 5. 2025 09:01, Mgr. Matej Fekete, Ph.D., učo 376265
Konzultant
Práce na příbuzné téma
Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.
-
Charakterizace TiAlON povlaků připravených technikou magnetronového naprašování buzeného pulzy velkého výkonu
Bc. Jakub Motl -
Studium PVD procesu buzeného standardním a multipulzním módem magnetronového naprašování pulzy velkého výkonu
Mgr. Martin Ondryáš, učo 484247 -
Příprava tenkých vrstev oxidů stabilizovaných vysokou entropií pomocí magnetronového naprašování
Bc. Jáchym Seidenglanz -
Studium struktury nanolaminátních tenkých vrstev tvořených kovem, uhlíkem a bórem připravených v průmyslových depozičních podmínkách
Mgr. Pavol Matej -
Depozice a charakterizace elektrochromního materiálu připraveného magnetronovým naprašováním
Bc. David Lubojacký -
Příprava Ta-B-C vrstev a studium jejich korozních vlastností
Mgr. Maroš Polaček -
Study of sputtered particles densities in non-reactive and reactive HIPIMS process
Mgr. Katarína Bernátová, Ph.D. -
Space and time resolved study of reactive HIPIMS process
Mgr. Matej Fekete, Ph.D., učo 376265




