Bakalářská práce

Studování povrchu mechanickým profilometrem

Study of surfaces using a mechanical profilometer

Radovan Čech
Anotace

Předložená práce se zabývá studiem povrchů mechanickým profilometrem. Profilometr je přístroj, který hrotem snímá tvar a nerovnosti povrchu v řádu nanometrů. Přístroj jsme použili pro změření profilů struktur rezistorů vyleptaných do hliníkových vrstev deponovaných na křemíkové desky, za účelem zjištění tloušťky deponované vrstvy. To nám umožnilo experimentálně určit hodnotu rezistivity pro AlCuSi metalizaci.

Abstract

This work deals with study of surfaces by mechanical profilometer. Profilometer is a device, which scans shape and roughness (irregularities) of surfaces in scale of nanometers. We used this device to measure profiles of resistor structures etched into aluminium layers deposited on silicon wafers with objective of detecting the thickness of deposited layer. This allows us to define value of resistivity for AlCuSi metallization experimentaly.

Klíčová slova
profil profilometr profilometrie morfologie povrchu rezistivita tenká vrstva metalizace profile profilometer profilometry morfology of surface resistivity thin layer metallization
Zadání práce
Mechanický profilometr snímá kontaktním způsobem tvar povrchu pevných látek diamantovým hrotem o velikosti několika mikrometrů, čímž je možné studovat morfologii povrchu na horizontální škále o velikosti stovek mikrometrů až desítek milimetrů s vertikálním rozlišením až jeden nanometr. Takto je možné určit např. drsnosti povrchu, tloušťky neprůhledných vrstev, tvary vyleptaných struktur, profily šikmých schodků a podobně.
Cílem bakalářské práce je studovat tvar povrchů vrstev mechanickým profilometrem. Měření bude prováděno v čistých prostorách na ÚFKL, kde jsou nově nainstalovány dva profilometry, Veeco Dektak a Tencor Alphastep. Proměřovanými vrstvami budou naprášené vrstvy metalizace a narostlé vrstvy oxidu křemíku. Bude provedeno srovnání výsledků měření na obou přístrojích. V případě průhledných vrstev bude možné též srovnání s tloušťkou zjištěnou spektroskopicky, v případě povrchu srovnání měřením na mikroskopu AFM.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
24. 5. 2010 21:07, doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D., učo 855
Plný text práce
3,8 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
28. 6. 2010
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D., učo 855
Fyz PřF MU

Oponent

Autor posudku dosud neidentifikován.

Konzultant

RNDr. Alois Nebojsa, učo 2222
ÚFKL Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce
 
Název
Vložil
Vloženo
Práva
Archiv závěrečné práce Radovan Čech PřF B-FY FYZ mlmy6/6
Čech, R.
19. 5. 2010
Složky
Soubory
Anotace anglicky annotation_english.txt
Čech, R.
19. 5. 2010
Anotace česky annotation.txt
Čech, R.
19. 5. 2010
bp.pdf
Čech, R.
19. 5. 2010
Klíčová slova keywords.txt
Čech, R.
19. 5. 2010
posudek_oponent CechPosudekBocanek.doc
Poláček, L.
24. 6. 2010

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.