Disertační práce

Diagnostics of HiPIMS process in the presence and absence of travelling ionization zones

Mgr. Marta Šlapanská
Anotace

Tato disertační práce se věnuje diagnostice magnetronového naprašování buzeného pulzy s vysokým výkonem (HiPIMS). Za určitých experimentálních podmínek se plazma v HiPIMS výboji uspořádá do tzv. rotujících ionizačních center. Tato centra jsou lokální shluky plazmatu, ve kterých dochází k výrazné excitaci a ionizaci. Podmínky, za kterých se plazma samo-uspořádá do ionizačních center, jsou jedním z předmětů …více

Abstract

This Ph.D. thesis deals with the diagnostics of rotating ionisation zones, which appear in the process of high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) under certain experimental conditions. Ionisation zones in HiPIMS plasma appear as local patterns of enhanced excitation and ionisation rotating above the target. The conditions of their occurrence in HiPIMS discharges are one of the subjects of …více

Klíčová slova
nízkoteplotní plazma magnetronové naprašování pulzy vysokého výkonu spoky ionizační centra diagnostika plazmatu optická emisní spektroskopie rychlá kamera Langmuirova sonda low temperature plasma HiPIMS spokes ionization zones plasma diagnostics OES fast camera imaging Langmuir probe
Zadání práce
Cílem práce je studium nereaktivního i reaktivního HIPIMS procesu, kdy je magnetronová katoda buzena pulzy velkého výkonu tzv. HIPIMS. V HiPIMS výboji bylo pozorováno, že plazma je za určitých podmínek uspořádáno do lokalizovaných ionizačních center. V rámci této práce bude studován i vliv reaktivního plynu právě na tato centra za použití katod z různých materiálů. Proces bude studován především vysokorychlostní kamerou, časově rozlišenou spektroskopií a různými typy sond.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
21. 4. 2022 11:02, doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D., učo 106259
Plný text práce
33,2 MB / soubor PDF
Jazyk práce
angličtina angličtina
Termín obhajoby
14. 6. 2022
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D., učo 106259
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponenti

doc. Ing. Pavel Baroch, Ph.D.
ext ÚFTP Fyz PřF MU, Fakulta aplikovaných věd, Západočeská univerzita v Plzni
prof. RNDr. Vítězslav Straňák, Ph.D.
ext ÚFTP Fyz PřF MU, JČU v Českých Budějovicích

Konzultanti

Mgr. Peter Klein, Ph.D., učo 269740
ÚFTP Fyz PřF MU
prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
ÚFTP Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Plán
Fyzika plazmatu

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.