Bakalářská práce

Určování pnutí v tenkých vrstvách

Strain analysis in thin layers

Miloš Hronček
Anotace

Obsahom tejto práce je opis experimentov, ktoré viedli k určeniu napätia v tenkých CN_X vrstvách deponovaných na Si substráte s orientáciou (001). Teoretická časť sa zaoberá všeobecným rozborom napätia a deformácie kontinua a vzťahu medzi nimi. Na základe tohto rozboru je potom vysvetlený Stoneyho vzťah. Experimentálna časť opisuje meranie krivosti pomocou RTG difrakcie.

Abstract

The content of this work is description of experiments that led to the identification of stress in thin CN_X films deposited on Si substrate with (001) orientation. The theoretical part deals with the general analysis of stress and deformation of the continuum and the relationship between them. The explanation of the Stoney’s equation is then based on this analysis. Experimental section describes the curvature measurement by X-ray diffraction.

Klíčová slova
tenká vrstva RTG difrakcia krivosť tenzor napatia napätie thin layer X-ray diffraction curvature stress tensor stress
Zadání práce
Předmětem práce bude určení pnutí v tenkých polykrystalických vrstvách z měření křivosti monokrystalického substrátu. Práce se bude zabývat teplotní a časovou stabilitou polykrystalických vrstev.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
30. 5. 2011 07:00, doc. Mgr. Ondřej Caha, Ph.D., učo 4414
Plný text práce
1,5 MB / soubor PDF
Jazyk práce
slovenština slovenština
Termín obhajoby
21. 6. 2012
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

doc. Mgr. Ondřej Caha, Ph.D., učo 4414
Fyz PřF MU

Oponent

Autor posudku dosud neidentifikován.
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce
 
Název
Vložil
Vloženo
Práva
Archiv závěrečné práce Miloš Hronček PřF B-FY FYZ omf9o/6
Hronček, M.
19. 5. 2011
Složky
Soubory
Anotace anglicky annotation_english.txt
Hronček, M.
19. 5. 2011
Anotace česky annotation.txt
Hronček, M.
19. 5. 2011
Klíčová slova keywords.txt
Hronček, M.
19. 5. 2011
Plný text práce konecna_verzia_2.pdf
Hronček, M.
23. 5. 2011
posudek_oponenta Hroncek_posudek_opon_Meduna.doc
Poláček, L.
21. 6. 2011

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.